产品简介

晶圆检测工业显微镜
GX1000系列大型正置金相显微镜采用柯勒照明系统和无限远正立成像光学系统，照明均匀，成像清晰。稳定抗震性大型主体机架设计，配置X / Y轴向移动范围为12英寸移动平台，为大型金相试样、半导体晶圆、液晶显示器材检测提供宽阔和操作空间。涵盖明场、暗场、偏光、微分干涉、荧光等多种观察方式能更好地满足专业用户的需求。

机械载物台

12英寸手动快慢离合型,手动操控，低手位X、Y方向同轴调节，有效行程304×304mm，带离合器手柄，可用于全行程范围内的快速移动；玻璃载物台板。

可选：旋转工作台/12寸晶圆盘，适用于6,8,12项寸晶圆，防静电处理。

照明系统

透射LED照明：

10W高亮度LED光源，色温4000K,照明亮度独立控制，透射照明器内置孔径光阑、起偏振镜、滤色镜，聚光镜组可上下升降。

反射LED照明：

10W高亮度LED光源，色温4000K,照明亮度独立控制，反射照明器内置视场光阑和孔径光阑、起偏振镜、检偏振镜、滤色镜

微分干涉相衬观察

配置高品质的微分干涉相衬物镜与DIC插件，使观察时展现出清晰，轮廓突出，带立体感的浮雕成像。

搭配无限远半复消色差明暗场金相物镜，具有色差、球差校正优异，成像平坦、边缘清晰等优点，单颗物镜集成明场 暗场双光路，切换显微镜照明模式即可。

无限远半复消色差金相物镜（齐焦距离45mm，管镜焦距200mm，螺纹外径M32）

GX1000 明场型

5X/0.15  工作距离：15 mm

10X/0.25  工作距离：20.2 mm

20X/0.50  工作距离：3.4 mm

50X/0.75  工作距离：2.0 mm

GX1000 明暗场 DIC

5X/0.15BD  工作距离：8.9mm

10X/0.25BD  工作距离：16 mm

20X/0.50BD  工作距离：2.3 mm

50X/0.75BD  工作距离：1.5 mm

目镜筒

无限远水平延长式正像观察头，目视仰角固定式，倾斜20°, 瞳距调节范围55~75mm.  

微分干涉模组

5X/10X/20X微分干涉插板，需与物镜匹配使用(不可搭配偏光补偿板使用)

调焦机构

配置双导向精密导轨，内置重载缓冲击装置，可实现重载平稳驱动，采用粗微动同轴手动调焦方式，粗调行程45mm，微调精度0.0007mm（0.7μm），带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。

转换器

明暗场六孔手动编码记忆型转换器（适配5寸触摸屏，可以显示倍率，物镜指示，亮度记忆，人体感应）

载物台

XY轴水平平移，行程305×305mm带离合器手柄，可用于全行程范围内的快速移动；Z轴调焦范围0~35mm

320X300mm玻璃台面板

照明系统

反射式柯勒照明方式

10WLED 亮度可调，配置360°旋转起偏器、检偏器、视场光阑、孔径光阑、滤色镜。

透射式柯勒照明方式

10WLED 亮度可调，配置360°旋转起偏器、检偏器、孔径光阑、滤色镜，聚光镜组可上下升降

CCD接头

1X

10X/0.30BD,工作距离：18.65mm

20X/0.40BD,工作距离：17.0mm

50X/0.60BD,工作距离：11.0mm

50X/0.80BD,工作距离：2.0mm

100X/0.80BD,工作距离：4.5mm

100X/0.90BD,工作距离：1.1mm

目镜筒

无限远转折式正像观察头，目视仰角在0~30°范围内可调，瞳距调节范围：53-75mm

载物台

旋转工作台/12寸晶圆盘，适用于6,8,12项寸晶圆，防静电处理

成像显微相机

多种显微相机可选

反射式柯勒照明方式

24V/100W大功率卤素灯,防热辐射灯室腔体防护级设计，光源中心可调，照明亮度独立控制，透射照明器内置视场光阑、孔径光阑、起偏振镜、滤色镜

透射式柯勒照明方式

24V/100W大功率卤素灯,防热辐射灯室腔体防护级设计，光源中心可调，照明亮度独立控制，反射照明器内置内置视场光阑、孔径光阑、起偏振镜、检偏振镜、滤色镜，聚光镜组可上下升降。